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Wir sind "Funktionsmaterialien"
   
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Schichttechnologie

Funktionsmaterialien kommen häufig als dünne Schicht (im Bereich weniger nm bis hin zu einigen µm) zur Anwendung, etwa als gassensitive Sensorschicht, als Elektrodenmaterial in Batterien oder Brennstoffzellen, als Katalysator mit hoher Oberfläche oder auch für Thermoelektrische Generatoren in der flächigen Anwendung.

Am Lehrstuhl für Funktionsmaterialien spielt deshalb die Schichttechnologie, also das Erzeugen einer Funktionsschicht mit den gewünschten Eigenschaften auf einem geeigneten Träger eine große Rolle. Zur Charakterisierung dieser Funktionseigenschaften sind oft auch elektrische Kontakte in planarer Mikrosystemtechnik notwendig.

Die Herstellung verschiedener Bauteile (z.B. Gassensor-Transducer mit oder ohne integriertem Heizelement und elektrischer Kontaktierung) erfolgt zumeist in Dickschichttechnik. Dafür stehen uns mehrere Siebruckanlagen und die dementsprechende Infrastruktur zur Verfügung (Ami 485 - Halbautomat mit optischem Alignment, Simatec Sim 20 – Labogerät mit manueller Bedienung für Einzelsensoren, Ami 885 – Halbautomat für die studentische Ausbildung).

Ein hohes Maß an Flexibilität in der Schicht-Strukturierung erreichen wir durch unseren Laser (LPKF Microline 350) mit einem Fokusdurchmesser von <20 µm.

Im Bereich der Dünnschichttechnik stehen uns außerdem ein MaskAligner (Suess) und eine Aufdampfanlage zur Verfügung.

Ein völlig neues Verfahren zur Schichterzeugung stellt die Aerosol-Abscheidung dar. Keramische Pulver in einem Aerosol werden dabei durch eine Düse in eine Vakuumkammer beschleunigt und können auf verschiedenste Substratmaterialien ohne Hochtemperatur-Prozess abgeschieden werden. Es bilden sich (in einem „kalten“ Prozess direkt aus dem Pulver) dichte und fest haftende Schichten aus. Mittlerweile verfügen wir über zwei Anlagen zur Aerosol-Abscheidung.

   
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